当社が日本国内にて販売する蒸発材料・スパッタリングターゲット(アノード)は半導体ウエハー用途(φ200、φ300)です
半導体ウエハー以外で使用される光学用の蒸発材料・スパッタリングターゲット(アノード)についてもご相談ください
蒸発材料について
真空蒸発とは
真空環境下で材料を加熱し、蒸発させて基板に薄膜を形成する技術で、電子デバイス、光学コーティング、装飾目的などで広く使用されます
蒸発用メッキ材とは
真空蒸発プロセスで使用される金属や化合物のことで、蒸発しやすく、かつ基板に均一な薄膜を形成できるように設計されています
主な蒸発用メッキ材と選定ポイント
蒸発材料のご紹介
ターゲット(アノード)について
スパッタリングターゲット(アノード)とは
スパッタリング法において使用される材料で、プラズマ中のイオンによってその表面から原子を飛ばし、基板上に薄膜を形成するためのものです