当社が日本国内にて販売する蒸発材料・スパッタリングターゲット(アノード)は半導体ウエハー用途(φ200、φ300)です

半導体ウエハー以外で使用される光学用の蒸発材料・スパッタリングターゲット(アノード)についてもご相談ください

蒸発材料について

真空蒸発とは

真空環境下で材料を加熱し、蒸発させて基板に薄膜を形成する技術で、電子デバイス、光学コーティング、装飾目的などで広く使用されます

蒸発用メッキ材とは

真空蒸発プロセスで使用される金属や化合物のことで、蒸発しやすく、かつ基板に均一な薄膜を形成できるように設計されています

主な蒸発用メッキ材と選定ポイント

蒸発材料のご紹介

ターゲット(アノード)について

スパッタリングターゲット(アノード)とは

スパッタリング法において使用される材料で、プラズマ中のイオンによってその表面から原子を飛ばし、基板上に薄膜を形成するためのものです

スパッタリングターゲット 製造プロセス

スパッタリングターゲット(アノード)のご紹介

パッケージングターゲット(アノード)のご紹介

その他ターゲット(アノード)のご紹介