半導体・液晶の製造過程で使われる洗浄工程において、精密洗浄用オゾン製造装置から排出される排オゾン水を無害化する『オゾン水処理装置』です。ケミカルの混入がない排オゾン水であれば、再度オゾン水生成のための純水としても再利用が可能です。
従来品の半額程度での低価格設定、フットプリントを考慮したコンパクト設計を実現しました。
※上記数値については、従来品と比較するための数値であり、詳細なお客様のご要望仕様により数値は変わることがございます。
本製品のお問い合わせについて
現状ご使用製品の置き換えやコストダウン、排オゾン水の無害化にお困りなどの企業様につきましては、下記お問い合わせより御連絡をお願いいたします。
処理前の排オゾン水にフッ酸等の酸が混ざっている場合の処理につきましては、特別仕様にて対応を検討させていただきます。
詳細な本装置の基本仕様のご要望等につきましても下記お問い合わせよりご連絡をお願いします。
半導体・液晶以外の様々な分野での洗浄や洗浄工程において、必要な機能水 関連装置についてもご提案可能です